二手韩一1550双枪射频源离子真空镀膜机包上门安装培训服务可租赁 - 深圳论坛

一、核心参数与技术规格设备基础信息型号：HVC-1550DA（韩一系列旗舰款）镀膜技术：物理气相沉积（PVD）双电子枪蒸发镀膜真空系统配置：涡轮分子泵（抽速1200L/s）+ 机械泵（抽速16L/s）极限真空度：≤2×10⁻³Pa（优于行业标准30%）电子枪性能双枪独立控制：束流200mA/枪，高压10kV可调蒸发速率：≥5nm/s（Al材料实测值）加工能力最大基片尺寸：Φ1550mm（兼容圆形/方形基板）装夹方式：行星式公转+自转（转速0-30rpm无级调节）动力系统电源：3相380V±10%，功率120kVA（峰值）冷却方式：双循环水冷系统（流量≥20L/min）

1. 精密镀膜控制光学监控系统（HOMS）：实时膜厚反馈，精度±0.5nm 双枪协同模式：支持Al/Ag/ITO等材料共蒸镀，膜层均匀性≤±3%

2. 工艺扩展性可选配23寸射频离子源（频率13.56MHz），提升膜基结合力模块化设计：兼容磁控溅射、电阻蒸发等多工艺切换

3. 智能操作系统 10寸人机界面：预设20种镀膜工艺配方故障自诊断系统：实时监控真空泄漏、枪头过热等异常

应用领域：手机镜头镀膜（AR/IR滤光片）、车载HUD镜片、光伏玻璃减反射竞品对比：较同类单枪设备效率提升40%，膜层均匀性提高25%

技术支持联系人：杨经理 18103045976（提供工艺调试、配件更换服务）培训服务：含3天现场操作培训及年度维护套餐

冷却系统→真空泵组→电子枪预热（需30分钟稳定）工艺参数：建议基片温度150-250℃，沉积速率2-8nm/s 维护周期电子枪灯丝：每500小时更换（原厂寿命800小时）真空密封圈：每6个月检查，氟橡胶材质需防老化处理

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