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标题: 二手日本光驰otfc-1550真空镀膜机真空室尺寸：Ф1550×1800mm [打印本页]

作者: hcgx2025 时间: 2025-6-18 14:08
标题: 二手日本光驰otfc-1550真空镀膜机真空室尺寸：Ф1550×1800mm
‌一、核心配置与规格‌‌真空系统‌真空室尺寸：Ф1550×1800mm，材质为SUS304不锈钢，适配玻璃、塑胶、晶体等多种基材。工件架直径：Ф1400mm，转速10-30rpm可调，支持行星式或钟罩式运行模式。排气系统：机械泵（275/SV630型号）+罗茨泵（爱德华品牌）+扩散泵+低温冷凝器（POLYCOLD），极限真空度≤7.0×10⁻⁵Pa，抽真空至工作压力仅需15分钟。‌镀膜组件‌（详情杨经理：18103045976）‌离子源‌：标配23寸射频离子源（RF离子源），通过高密度离子电流提升膜层致密性与附着力，耐摩擦性通过4万次测试验证；部分型号可选17寸RF离子源。‌蒸发源‌：双电子枪（16F或16P型号），搭配12穴环形坩埚及热阻蒸装置，支持100层以上复杂膜系结构。‌膜厚监控‌：光学监控：HOM2R-VIS350A膜厚监控仪，波长范围350-1100nm（反射/透射式）。晶控系统：6点式水晶传感器+XTC/3控制系统，实现纳米级精度及在线阻针检测。‌自动化与辅助系统‌全自动蒸镀流程控制，减少人工干预。水冷需求：180-220L/min，空气压力≥0.5MPa310。电源：3相200V/50-60Hz，整机功率80-120KVA，重量约10-12吨。‌二、核心应用领域‌‌光学镀膜‌：高反射膜（HR）、介质膜（如IR-CUT滤光片、分色滤光片、光纤器件）。AR抗反射膜、AF防指纹膜（适用于摄像头镜头、触摸屏等）。‌特种镀膜‌：ITO导电膜、LED光学薄膜、超多层复合膜。汽车后视镜片、半导体晶圆表面镀膜。‌三、技术优势‌‌高稳定性‌：磁密封驱动旋转基板，确保膜厚分布均匀。深冷系统与护板组件延长设备寿命。‌量产能力‌：支持单次蒸镀200层以上膜系，膜厚可达20000nm，满足高OD值（光学密度）滤光片需求（如生物医疗用荧光滤光片）。‌工艺适应性‌：兼容行星式/钟罩式工件架，适应不同基材与膜系设计。‌四、二手设备与增值服务‌‌设备状态‌：多为2015-2017年生产，部分仍在产线使用，已完成精度与稳定性验证。‌配套服务‌：提供免费安装调试、3个月保修及工艺培训。 (, 下载次数: 126) (, 下载次数: 112) (, 下载次数: 121) (, 下载次数: 110) (, 下载次数: 107) (, 下载次数: 109) ‌

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