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标题: 二手韩一2700/2050真空镀膜机/电子束蒸发电镀机转让 [打印本页]

作者: hcgx2025 时间: 2025-6-18 13:58
标题: 二手韩一2700/2050真空镀膜机/电子束蒸发电镀机转让
二手韩一2700/2050真空镀膜机的明细介绍
一、核心参数与结构 ‌腔体尺寸‌ 直径2700mm × 高度1600mm（HVC-2700型号）。有效镀膜区域直径可达2610mm。 ‌真空性能‌ 空载极限真空度：8.0×10⁻⁵Pa。真空保压能力：关闭高阀后1小时内真空度≤8×10⁻²Pa。抽速优化：常温空载下，从大气压抽至3.0×10⁻³Pa仅需12分钟。 ‌机械系统‌ 工件架支持球伞式、行星式或翻转式（可选）。基板回转速度：3-30r/min可调8。整机重量约14-15吨。（详情杨经理181-030-45976）
二、镀膜系统配置 ‌蒸发源‌ 标配双电子枪（E型），可选配多位旋转阻蒸源。支持环形坩埚设计，可镀制100层以上复杂膜系。 ‌监控与控制系统‌ 光学膜厚监控：60点间接监控（反射式，波长350-1100nm）或直接光控。晶振膜厚仪（MXC-3B+6点晶控）实时调控沉积速率。 ACS全自动镀膜系统实现工艺自动化。 ‌辅助技术‌ 离子源：配置高离子流密度射频离子源（如GTHC8×2型号）。加热系统：基板最高加热温度可达300-350℃810。
三、真空与辅助系统 ‌排气系统‌ 机械泵组 + 分子泵/低温泵 + 深冷捕集泵组合。 ‌配套设施要求‌ 电力：三相380V/50Hz，峰值功耗约100kW。冷却水：160L/min（0.3-0.5MPa，18-25℃）。压缩空气：0.4-0.8MPa。
四、应用场景 ‌光学镀膜‌ 批量生产滤光片、AR增透膜（玻璃/树脂基材）。支持手机镜头、显示屏光学涂层（如AR/AF/防指纹膜）。 ‌工业镀膜‌ 工具硬质涂层（PVD技术）、装饰性梯度镀膜（如手机外壳）。汽车后视镜、光伏器件表面处理.
配置明细：
UNIVAC-2700镀膜机设备配置表
序号品名数量单位品牌
1 机腔 1 台 UNIVAC-2700
2 机械泵 1 台真空泵
3 罗茨泵 1 台罗茨泵
4 电子枪 1 台 UNIVAC
5 电子枪钳锅 1 套 UNIVAC 12 穴
6 离子源 2 台 UNIVAC 霍尔源
7 流量计（MFC) 4 路 UNIVAC
8 压控（APC) 1 套 UNIVAC
9 电控箱加热系统 1 套下加热
晶控 1 台 IC6晶控
PLC及系统 1 台 UNIVAC
10 Poly-Cold冷冻机 1 台韩国
11 真空控制计 1 套 UNIVAC
12 护板 1 套 UNIVAC
13 阻蒸 1 套 UNIVAC
(, 下载次数: 75)

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