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标题: 二手日本光驰AR膜/AF膜/高反射膜专用光学镀膜机 蒸发镀膜设备OTFC-1800 [打印本页]
作者: HC112233 时间: 2025-4-16 14:42
标题: 二手日本光驰AR膜/AF膜/高反射膜专用光学镀膜机 蒸发镀膜设备OTFC-1800
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[color=var(--md-box-samantha-normal-text-color) !important]光驰镀膜机 OTFC-1800 是一款高性能的光学薄膜镀膜设备,以下是其相关介绍:
- [color=var(--md-box-samantha-deep-text-color) !important]主要结构与功能2:
- [color=var(--md-box-samantha-deep-text-color) !important]真空室:采用 SUS304 不锈钢材质,尺寸为 Φ1800mm×1920mm(H),为镀膜过程提供高真空环境,减少杂质对膜层质量的影响。
- [color=var(--md-box-samantha-deep-text-color) !important]工件架:尺寸为 Φ1600mm,转速在 10rpm 至 30rpm 之间可变,可使工件在镀膜过程中均匀地接收镀膜材料,保证膜层厚度的均匀性。
- [color=var(--md-box-samantha-deep-text-color) !important]光学膜厚控制系统:采用 HOM2-R-VIS350A 高精度光学膜厚监控仪,波长范围为 350nm 至 1100nm,可通过反射式或透射式进行测量,搭配 XTC/3+6 点式石英晶体传感器,实现对膜厚的精确控制,膜层控制精度可达 ±1nm。
- [color=var(--md-box-samantha-deep-text-color) !important]蒸发源:配备 2 套电子枪,可实现多种材料的蒸发镀膜,搭载多点和环型坩埚,可镀 100 层以上薄膜,满足不同光学薄膜的制备需求。
- [color=var(--md-box-samantha-deep-text-color) !important]离子源:采用 23cm RF 离子源,能产生均匀分布的高离子电流密度离子束,在镀膜过程中对薄膜进行离子辅助沉积,提高薄膜的致密度、附着力和光学性能。
- [color=var(--md-box-samantha-deep-text-color) !important]排气系统:有两种选择,一是采用机械泵、2 个扩散泵加低温冷凝器(POLYCOLD)的组合,二是采用 2 个冷凝泵,可在 20 分钟内将真空度从大气压抽至 1.3×10⁻³Pa,极限压力可达 7.0×10⁻⁵Pa 以下
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