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标题:
二手CMT16B高精密双面抛光机/硅片研磨机/平面研磨机转让
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作者:
HC112233
时间:
2025-4-15 10:37
标题:
二手CMT16B高精密双面抛光机/硅片研磨机/平面研磨机转让
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工作原理
将被磨抛材料放置于研磨盘上,研磨盘逆时钟转动,修正轮带动工件自转,通过重力加压或其他方式对工件施压,使工件与研磨盘作相对运转摩擦,来达到研磨抛光目的。
研磨盘修整机构采用油压悬浮导轨前后往复运动,金刚石修面刀给研磨盘的研磨面进行精密修整,使研磨盘得到理想的平面效果。同时,配合研磨液自动喷雾系统,使研磨液能均匀地喷洒在研磨盘上,以保证工件的稳定性。
结构组成
研磨盘:是镜面研磨机的关键部件,通常由硬度较高、耐磨性好的材料制成,如铸铁、碳化硅等。研磨盘的表面平整度和粗糙度对研磨效果起着决定性作用。
修正轮:用于带动工件自转,使工件在研磨过程中能够均匀地受到研磨力,保证研磨精度。
加压装置:可以采用重力加压、液压加压或气压加压等方式,为工件提供适当的研磨压力,以控制研磨效率和质量。
研磨液供给系统:包括研磨液储存罐、泵、喷头等部件,能够将研磨液均匀地喷洒在研磨盘和工件表面,起到冷却、润滑和携带磨屑的作用。
控制系统:一般以 PLC 为控制核心,文本显示器为人机对话界面,可实现对研磨机的参数设置、运行监控、故障报警等功能,操作界面直观方便,程序控制,操作简单。
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